TY  - BOOK
AU  - Косушкин, В. Г.
AU  - Кожитов, Л. В.
AU  - Попкова, А.В.
TI  - Базовые технологические процессы материалов электроники (рост кристаллов и эпитаксия)
SN  - 978-5-00081612-7
PY  - 2023///
CY  - Владикавказ
PB  - СОГУ им. К.Л. Хетогурова
KW  - Полупроводники
KW  - Эпитаксия
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\66878007
KW  - Кристаллы
KW  - Рост
KW  - RU\NLR\AUTH\66888198
KW  - З843.308
N2  - Библиогр.: с. 357-367 (127 назв.)
ER  -