TY  - BOOK
AU  - Орликов, Л. Н.
TI  - Основы вакуумных технологий
SN  - 978-5-86889-937-9
PY  - 2021///
CY  - Томск
PB  - Изд-во ТУСУРа
KW  - Вакуумная техника
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661338340
KW  - Материалы
KW  - Вакуумная обработка
KW  - RU\NLR\AUTH\661592283
KW  - З77я73-1
KW  - Ж614я73-1
N2  - Библиогр.: с. 119 (8 назв.)
ER  -