TY - BOOK ED - "Вакуумная техника и технология", российская студенческая научно-техническая конференция TI - Десятая Российская студенческая научно-техническая конференция "Вакуумная техника и технология", 12-15 апреля 2021 г SN - 978-5-7882-2994-2 PY - 2021/// CY - Казань PB - Изд-во КНИТУ KW - Вакуумная техника KW - Съезды, совещания и т.п KW - nlr_sh2 KW - RU\NLR\AUTH\661338340 KW - 621.52(082) KW - 4 KW - З77я431(2) N2 - Библиогр. в конце ст ER -