TY  - BOOK
AU  - Косушкин, В. Г.
AU  - Кожитов, Л. В.
AU  - Емельянов, С. Г.
ED  - Юго-Западный государственный университет
TI  - Математическое моделирование технологических процессов микроэлектроники
SN  - 978-5-7681-1598-2
PY  - 2022///
CY  - Курск
PB  - ЮЗГУ
KW  - Полупроводники
KW  - Производство
KW  - Технологические процессы
KW  - Математическое моделирование
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\6601731728
KW  - 621.382:004.94(075.8)
KW  - 4
KW  - З843.308-1с11я73-1
N2  - Библиогр.: с. 189-190 (7 назв.)
ER  -