TY - BOOK ED - "Вакуумная техника и технология", российская студенческая научно-техническая конференция TI - Одиннадцатая Российская студенческая научно-техническая конференция "Вакуумная техника и технология", 18-20 апреля 2023 г SN - 978-5-7882-3311-6 PY - 2023/// CY - Казань PB - Изд-во КНИТУ KW - Вакуумная техника KW - Съезды, совещания и т.п KW - nlr_sh2 KW - RU\NLR\AUTH\661338340 KW - З77я431(2) N2 - Библиогр. в конце докл ER -