TY  - BOOK
AU  - Водопьянов, А. В.
AU  - Голубев, С. В.
AU  - Мансфельд, Д. А.
TI  - Высоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР
T2  - Препринт
VL  - N°800
PY  - 2010///
CY  - Нижний Новгород
PB  - [б. и.]
KW  - Нитриды галлия
KW  - Травление
KW  - Плазмохимические методы
KW  - RU\NLR\auth\661603384
KW  - З843.324.408
N2  - Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.)
ER  -