TY  - BOOK
AU  - Тимошенков, С. П.
ED  - "Интеллектуальные системы и микросистемная техника", научно-практическая конференция
ED  - Московский государственный институт электронной техники
TI  - Интеллектуальные системы и микросистемная техника
SN  - 978-5-7256-1038-3
PY  - 2024///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Микроэлектромеханические системы
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661573435
KW  - Микросистемная техника
KW  - nlr_sh1
KW  - RU\NLR\AUTH\661410277
KW  - Интеллектуальные информационные системы
KW  - RU\NLR\AUTH\661309984
KW  - З26я431
KW  - З291я431
KW  - З8я431
KW  - З973.23я431
N2  - Библиогр. в конце ст; Авт. указ.: с. 237—239
ER  -