TY  - BOOK
AU  - Науменко, Э. В.
TI  - Применение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур
PY  - 1998///
CY  - М.
KW  - 05.13.16
KW  - 15105.27.06
KW  - oksvnk
N2  - Библиогр.: с.18 (8 назв.)
ER  -