TY  - BOOK
AU  - Евдокимов, В. Л.
TI  - Неоднородности слоев оксида кремния, осаждаемых из газовой фазы
SN  - 978-5-6053168-4-8
PY  - 2025///
CY  - Москва
PB  - Книга-Мемуар
KW  - Оксиды кремния
KW  - Тонкие пленки
KW  - Осаждение из газовой фазы
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\6601756372
KW  - З843.322.410.8-5
N2  - Библиогр. в конце ст. и в подстроч. примеч
ER  -