TY  - BOOK
AU  - Петренко, А. И.
AU  - Синекоп, Ю. С.
AU  - Бонат, Э. Э.
ED  - Киевский политехнический институт
TI  - Автоматизация проектирования технологических процессов изготовления БИС
PY  - 1988///
CY  - Киев
PB  - Учебно-методический кабинет по высшему образованию
KW  - Интегральные схемы
KW  - Производство
KW  - Руководства, пособия и т.п. для высшей школы
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\66186470
KW  - з844.15-06-6я73-1
N2  - Библиогр.: с. 180-186 (100 назв.)
ER  -