TY  - BOOK
ED  - "Вакуумная наука и техника", научно-техническая конференция
TI  - Материалы конференции
SN  - 5-230-16295-3
PY  - 2000///
CY  - Москва
PB  - Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
KW  - Вакуум-техника
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - nlr_sh1
KW  - RU\NLR\auth\661338341
KW  - Вакуумная техника
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661338340
KW  - З77я431
N2  - Библиогр. в конце докл
ER  -