TY  - BOOK
AU  - Шаповалов, В. И.
AU  - Шарковский, Д. С.
TI  - Тепловые процессы при магнетронном распылении
SN  - 978-5-7629-3458-9
PY  - 2024///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
KW  - Тонкие пленки
KW  - Магнетронное распыление
KW  - Компьютерное моделирование
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\6601764602
KW  - Тепловые свойства
KW  - nlr_sh1
KW  - RU\NLR\AUTH\661269327
KW  - COMSOL MULTIPHYSICS, пакет прикладных программ
KW  - RU\NLR\AUTH\661579770
KW  - З843.13-060.7
N2  - Библиогр.: с. 127-139 (167 назв.)
ER  -