TY  - BOOK
AU  - Баканов, Г. Ф.
AU  - Петрова, Г. В.
TI  - Фотолитография
T2  - Учебное пособие
SN  - 5-7629-0454-7
PY  - 2002///
CY  - СПб.
PB  - Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
KW  - Интегральные схемы
KW  - Руководства, пособия и т.п. для высшей школы
KW  - Производство
KW  - Фотолитографический метод
KW  - RU\NLR\auth\661327006
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - З844.15-060.6я73-1
KW  - rubbk
KW  - З844.15-06я73-1
N2  - Библиогр. в конце кн
ER  -