@book{13659180,
	author = {"Атомно-слоевое осаждение: Россия-2023", международная конференция},
	title = {IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия - 2023" (АСО - Россия - 2023), Махачкала, 15-18 сентября 2023 г.},
	publisher = {Изд-во ДГУ},
	year = {2023},
	address = {Махачкала},
	note = {Текст рус., англ.}
}