02109nam0a2200361 4500 RU\NLR\BIBL_A\022238084 20260420010433.0 978-5-9913-0279-1 100 RU КН-П-24-022806 КН-П-24-2366 (NLR Aleph) 022238084 13659180 13659180 20240530d2023 k y0rusy50 ca rus eng RU a z 100yy i3 axxe n IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия - 2023" (АСО - Россия - 2023), Махачкала, 15-18 сентября 2023 г. 4th International сonference "Atomic Layer Deposition: Russia - 2023" (ALD - Russia - 2023), Makhachkala, 15-18 September 2023 сборник тезисов докладов Министерство науки и высшего образования РФ, Дагестанский государственный университет [и др.] eng Текст визуальный непосредственный Махачкала Изд-во ДГУ 2023 122 с. ил., табл. 29 Текст рус., англ. Библиогр. в конце докл. z01791 4th International сonference "Atomic Layer Deposition: Russia - 2023" (ALD - Russia - 2023), Makhachkala, 15-18 September 2023 eng Тонкие пленки Съезды, совещания и т.п Осаждение 2267635 RU\NLR\AUTH\661359283 З844.13-060.7я431(0) "Атомно-слоевое осаждение: Россия-2023", международная конференция 4 Махачкала 883542 RU\NLR\AUTH\880611691 ba eng "Atomic layer deposition: Russia-2023", international conference 4 Makhachkala 883546 RU\NLR\AUTH\880611695 BOOK NB