Махачкала20240530d2023 k y0rusy50 cacreator"Атомно-слоевое осаждение: Россия-2023", международная конференция4МахачкалаtextmonographicТекст рус., англ.
Тонкие пленки
Съезды, совещания и т.п
Осаждение
2267635
RU\NLR\AUTH\661359283
4th International сonference "Atomic Layer Deposition: Russia - 2023" (ALD - Russia - 2023), Makhachkala, 15-18 September 2023978-5-9913-0279-120260420010433.0RU\NLR\BIBL_A\022238084