TY  - BOOK
ED  - "Атомно-слоевое осаждение: Россия-2023", международная конференция
TI  - IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия - 2023" (АСО - Россия - 2023), Махачкала, 15-18 сентября 2023 г
SN  - 978-5-9913-0279-1
PY  - 2023///
CY  - Махачкала
PB  - Изд-во ДГУ
KW  - Тонкие пленки
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - Осаждение
KW  - RU\NLR\AUTH\661359283
KW  - З844.13-060.7я431(0)
N2  - Библиогр. в конце докл
ER  -