@book{13666032,
	author = {Мочалов, Л. А. and Кудряшов, М. А.},
	title = {Плазмохимический синтез тонких пленок халькогенидов мышьяка и сульфида галлия},
	publisher = {Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева},
	year = {2024},
	address = {Нижний Новгород}
}