TY  - BOOK
AU  - Мочалов, Л. А.
AU  - Кудряшов, М. А.
AU  - Слаповская, Е. А.
TI  - Плазмохимический синтез тонких пленок халькогенидов мышьяка и сульфида галлия
SN  - 978-5-502-01768-8
PY  - 2024///
CY  - Нижний Новгород
PB  - Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева
KW  - Халькогениды мышьяка
KW  - Тонкие пленки
KW  - Плазмохимический синтез
KW  - RU\NLR\AUTH\6601690930
KW  - Сульфиды галлия
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\6601747380
KW  - З843.325.210.8
N2  - Библиогр.: с. 145-159 (196 назв.)
ER  -