@book{13666166,
	author = {Наумов, В. И. and Мочалов, Г. М.},
	title = {Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники},
	publisher = {Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева},
	year = {2023},
	address = {Нижний Новгород}
}