TY  - BOOK
AU  - Наумов, В. И.
AU  - Мочалов, Г. М.
TI  - Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники
SN  - 978-5-502-01726-8
PY  - 2023///
CY  - Нижний Новгород
PB  - Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева
KW  - Интегральные схемы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Производство
KW  - Технологические процессы
KW  - RU\NLR\AUTH\6601548943
KW  - Оборудование
KW  - RU\NLR\AUTH\66194849
KW  - З844.15-06я73-1
N2  - Библиогр.: с. 266 (9 назв.)
ER  -