TY  - BOOK
AU  - Косушкин, В. Г.
AU  - Силаев, И. В.
AU  - Кожитов, Л. В.
TI  - Вакуумные системы в проектировании, производстве и исследовании материалов электронной техники
SN  - 978-5-00081-678-3
PY  - 2024///
CY  - Владикавказ
PB  - Северо-Осетинский государственный университет имени Коста Левановича Хетагурова
KW  - Электронные приборы
KW  - Производство
KW  - Вакуумное оборудование
KW  - RU\NLR\AUTH\661304632
KW  - З85-06-5
N2  - Библиогр.: с. 625-627 (34 назв.)
ER  -