Воронеж20250922d2025 k y0rusy50 cacreatorАлександровО. В. д-р физ.-мат. наук, микроэлектроникаtextmonographicНа 4-й с. обл. авт.: Александров О. В., д-р физ.-мат. наук, проф., Афонин Н. Н., д-р хим. наук, Дусь А. И., канд. физ.-мат. наук, доц.
Кремний
Окисление термическое
1396524
RU\NLR\AUTH\66587424
Кремний
Примеси
Диффузия
Математическое моделирование
1802744
RU\NLR\AUTH\661105984
Кремний
Примеси
Сегрегация
Математическое моделирование
2697828
RU\NLR\AUTH\6601766613
Интегральные схемы полупроводниковые
Моделирование
2152789
RU\NLR\AUTH\661601031
978-5-907961-52-420260510042657.0RU\NLR\BIBL_A\022627476