TY  - BOOK
AU  - Александров, О. В.
AU  - Афонин, Н. Н.
AU  - Дусь, А. И.
TI  - Физико-технологическое моделирование интегральных микросхем: окисление, диффузия, сегрегация
SN  - 978-5-907961-52-4
PY  - 2025///
CY  - Воронеж
PB  - Воронежский государственный педагогический университет
KW  - Кремний
KW  - Окисление термическое
KW  - RU\NLR\AUTH\66587424
KW  - Примеси
KW  - Диффузия
KW  - Математическое моделирование
KW  - RU\NLR\AUTH\661105984
KW  - Сегрегация
KW  - RU\NLR\AUTH\6601766613
KW  - Интегральные схемы полупроводниковые
KW  - Моделирование
KW  - RU\NLR\AUTH\661601031
KW  - З843.322.408
KW  - З844.15-02
N2  - Библиогр. в конце гл
ER  -