TY  - BOOK
AU  - Панфилов, Ю. В.
TI  - Электронные, ионные и плазменные технологии
PY  - 2000///
CY  - М.
PB  - Машиностроение
KW  - Ионная технология
KW  - Сборники
KW  - RU\NLR\auth\661330554
KW  - Электронно-лучевая обработка материалов
KW  - RU\NLR\auth\661215468
KW  - Материалы
KW  - Электронно-лучевая обработка
KW  - RU\NLR\auth\661312571
KW  - Плазменная обработка материалов
KW  - RU\NLR\auth\661303010
KW  - Плазменная обработка
KW  - RU\NLR\auth\661303011
KW  - Ж614я43
KW  - Ж624я43
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -