TY  - BOOK
AU  - Афонский, А. А.
AU  - Дьяконов, В. П.
TI  - Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике
SN  - 978-5-94074-626-3
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - ДМК
KW  - Электронные измерительные приборы
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661060182
KW  - З842-57
N2  - Библиогр.: с. 679-687
ER  -