TY  - BOOK
AU  - Никифоров, В. В.
TI  - Электроосаждение и ионизация металлов на полупроводниках
SN  - 5-901608-08-9
PY  - 2004///
CY  - Саратов
PB  - Изд-во АН ВЭ
KW  - Металлы
KW  - Электроосаждение
KW  - RU\NLR\auth\66687921
KW  - Ионизация
KW  - RU\NLR\auth\661431700
KW  - Полупроводники
KW  - Производство
KW  - RU\NLR\auth\66289574
KW  - З843.308
N2  - Библиогр.: с. 59-71 (180 назв.)
ER  -