@book{1449280,
	author = {"Вакуумная наука и техника", научно-техническая конференция},
	title = {XVI Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника"},
	publisher = {МИЭМ},
	year = {2009},
	address = {Москва},
	note = {В надзаг.: М-во образования и науки Рос. Федерации, Рос. науч.-техн. вакуум. о-во, Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т), ГУ "НИИ микроэлектроники и информ.-измерит. техники МИЭМ" [и др.]}
}