Москва20091203d2009 |||y0rusy50 cacreator"Вакуумная наука и техника", научно-техническая конференция16МоскваtextmonographicВ надзаг.: М-во образования и науки Рос. Федерации, Рос. науч.-техн. вакуум. о-во, Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т), ГУ "НИИ микроэлектроники и информ.-измерит. техники МИЭМ" [и др.]Рез. докл. на англ. яз.
Вакуумная техника
Съезды, совещания и т.п.
2229695
RU\NLR\auth\661338340
978-5-94506-224-520260407212832.0RU\NLR\bibl\1446922