TY  - BOOK
ED  - "Вакуумная наука и техника", научно-техническая конференция
TI  - XVI Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника"
SN  - 978-5-94506-224-5
PY  - 2009///
CY  - Москва
PB  - МИЭМ
KW  - Вакуумная техника
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - RU\NLR\auth\661338340
KW  - З77я431(0)
N2  - Библиогр. в конце докл
ER  -