TY  - BOOK
AU  - Аверин, И. А.
AU  - Головяшкин, А. Н.
TI  - Физика и технология тонких пленок
PY  - 2009///
CY  - Пенза
PB  - Изд-во Пензенского гос. ун-та
KW  - Тонкие пленки
KW  - Нанесение напылением в вакууме
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\66493144
KW  - З844.13-060.7я73-1
KW  - rubbk
N2  - Библиогр.: с. 155-156
ER  -