TY  - BOOK
AU  - Зебрев, Г. И.
TI  - Физические основы кремниевой наноэлектроники
T2  - Нанотехнологии
SN  - 978-5-9963-0181-2
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - Бином. Лаборатория знаний
KW  - Наноэлектроника
KW  - Физические основы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661501456
KW  - Транзисторы кремниевые
KW  - RU\NLR\auth\661527503
KW  - кремний - применение в наноэлектронике
KW  - З844.19-035.506.3я73-1
KW  - rubbk
KW  - З852.3я73-1
KW  - З844.1-01я73-1
N2  - Библиогр.: с. 225-232
ER  -