TY  - BOOK
AU  - Асеев, А. Л.
ED  - Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова
TI  - Нанотехнологии в полупроводниковой электронике
SN  - 5-7692-0680-2
PY  - 2004///
CY  - Новосибирск
PB  - СО РАН
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
KW  - nlr-sh2
KW  - RU\NLR\auth\66261229
KW  - Нанотехнологии
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\66830353
KW  - З844.1-06
N2  - Библиогр. в конце параграфов
ER  -