TY  - BOOK
AU  - Варадан, В.
AU  - Виной, К.
AU  - Джозе, К.
TI  - ВЧ МЭМС и их применение
T2  - Мир электроники
SN  - 5-94836-030-X
PY  - 2004///
CY  - М.
PB  - Техносфера
KW  - Микроэлектромеханические приборы ВЧ
KW  - RU\NLR\auth\661410283
KW  - З26
KW  - З291
N2  - Библиогр. в конце глав; Предм. указ.: с. 524-525
ER  -