TY  - BOOK
AU  - Неволин, В. К.
TI  - Зондовые нанотехнологии в электронике
T2  - Мир электроники
VL  - 7, 11
SN  - 5-94836-054-7
PY  - 2005///
CY  - М.
PB  - Техносфера
KW  - Интегральные схемы
KW  - Производство
KW  - Зондовые методы
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661434450
KW  - Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Оборудование
KW  - сканирующие туннельные микроскопы
KW  - сканирующие атомно-силовые микроскопы
KW  - З844.19-06-5,0
KW  - rubbk
KW  - З844.15-06
N2  - Библиогр. в конце гл
ER  -