TY  - BOOK
AU  - Александрова, А.Т.
AU  - Ивашов, Е. Н.
AU  - Васин, В. А.
AU  - Степанчиков, С. В.
TI  - Вакуумная механика в электронном машиностроении
SN  - 978-5-94506-248-1
PY  - 2009///
CY  - Москва
PB  - МИЭМ
KW  - Электронные приборы
KW  - Производство
KW  - Вакуумное оборудование
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661304632
KW  - З851-060.8-5,0
KW  - rubbk
KW  - З851-06-5
N2  - Библиогр. в конце гл
ER  -