TY  - BOOK
AU  - Соколов, Л. В.
TI  - Основы проектирования кремниевых микроэлектромеханических интегральных тензопреобразователей давления и микросистем с профилированной трехмерной мембранной структурой
SN  - 978-5-85101-091-0
PY  - 2009///
CY  - Жуковский
PB  - Петит
KW  - Преобразователи давления микроэлектромеханические
KW  - Проектирование
KW  - RU\NLR\auth\661531181
KW  - О567-04,07
KW  - rubbk
KW  - З323-503-02
N2  - Библиогр.: с. 141-163 (226 назв.)
ER  -