TY - BOOK AU - Гольдштейн, Р. В. AU - Осипенко, Н. М. TI - Химико-механическое полирование. Модели процесса T2 - Препринт VL - N° 918 PY - 2009/// CY - Москва PB - Институт проблем механики Российской акад. наук KW - Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная KW - Детали KW - Полирование химическое KW - RU\NLR\auth\661533296 KW - З844.1-06-1с31,0 KW - rubbk KW - З844.1-060.13 N2 - Библиогр.: с. 36-39 (47 назв.) ER -