TY - BOOK AU - Шешин, Е. П. TI - Основы вакуумной техники SN - 978-5-7417-0280-2 PY - 2009/// CY - Москва PB - МФТИ KW - Вакуумная техника KW - Учебные издания для высших учебных заведений KW - nlr_sh2 KW - RU\NLR\auth\661338340 KW - З77-5я73-1 KW - rubbk KW - З77я73-1 N2 - Библиогр.: с. 146 ER -