TY  - BOOK
AU  - Геллер, В. М.
AU  - Хрусталев, В. А.
TI  - Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения
T2  - Монографии НГТУ
SN  - 978-5-7782-1559-7
PY  - 2011///
CY  - Новосибирск
PB  - НГТУ
KW  - Электронные приборы
KW  - Производство
KW  - Плазменные методы
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661559790
KW  - низкотемпературная плазма
KW  - генераторы низкотемпературной плазмы
KW  - плазменные процессы в приборостроении
KW  - З851.1-060.14-5,0
KW  - rubbk
KW  - З85-06
N2  - Библиогр.: с. 284-293 (146 назв.)
ER  -