TY  - BOOK
AU  - Корнфельд, И. Н.
TI  - Экспериментальное моделирование контактов силицид металла - полупроводник
SN  - 978-5-98222-323-4
PY  - 2008///
CY  - Воронеж
PB  - Научная книга
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Контакты
KW  - Физико-химические процессы
KW  - RU\NLR\auth\661400216
KW  - Силициды металлов-полупроводник, система
KW  - RU\NLR\auth\661583879
KW  - Сверхбольшие интегральные схемы
KW  - Подложки кремниевые
KW  - RU\NLR\auth\661473421
KW  - З844.15-03
KW  - З852-049.7-01
N2  - Библиогр.: с. 84-87 (54 назв.)
ER  -