@book{1741578,
	author = {Башков, В. М. and Нарайкин, О. С.},
	title = {Нанотехнологическая база микросистемной техники},
	publisher = {МГТУ},
	year = {2007},
	series = {Инновационная образовательная программа МГТУ им. Н.Э. Баумана "Научное и кадровое обеспечение инновационного развития технических систем, объектов и технологий, отвечающих требованиям мирового уровня к качеству, надежности и безопасности"},
	address = {Москва},
	note = {Авт. указаны на обороте тит. л.}
}