TY  - BOOK
AU  - Башков, В. М.
AU  - Беляева, А. О.
AU  - Быков, Ю. А.
AU  - Нарайкин, О. С.
ED  - "Образование", приоритетный национальный проект
TI  - Нанотехнологическая база микросистемной техники
T2  - Инновационная образовательная программа МГТУ им. Н.Э. Баумана "Научное и кадровое обеспечение инновационного развития технических систем, объектов и технологий, отвечающих требованиям мирового уровня к качеству, надежности и безопасности"
SN  - 978-5-7038-3089-5
PY  - 2007///
CY  - Москва
PB  - МГТУ
KW  - Микросистемная техника
KW  - Кадры
KW  - Подготовка
KW  - Образовательные проекты
KW  - RU\NLR\auth\661573445
KW  - Ч488.752.121.1
ER  -