TY  - BOOK
AU  - Тимофеев, В. Н.
TI  - Техническая механика микросистем
SN  - 978-5-9963-0636-7
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - Бином. Лаборатория знаний
KW  - Микроэлектромеханические приборы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Физические основы
KW  - RU\NLR\auth\661456437
KW  - З844.1-01я73-1
N2  - Библиогр.: с. 173-174 (19 назв.)
ER  -