@book{1754170,
	author = {Орлов, А. М. and Костишко, Б. М.},
	title = {Физические основы технологии полупроводниковых приборов в интегральных микросхемах},
	publisher = {УлГУ},
	year = {2001},
	address = {Ульяновск}
}