TY  - BOOK
AU  - Панфилов, Ю. В.
TI  - Элионные процессы и нанотехнологии
T2  - Библиотека "Наноинженерия"
VL  - кн. 10
SN  - 978-5-7038-3501-2
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - Изд-во МГТУ
KW  - Тонкие пленки
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Нанесение в вакууме
KW  - RU\NLR\auth\661122354
KW  - Интегральные схемы
KW  - Производство
KW  - Электронно-ионная технология
KW  - RU\NLR\auth\661422989
KW  - З844.13-060.7я73-1
KW  - З844.15-06я73-1
N2  - Библиогр.: с. 125 (8 назв.)
ER  -