TY  - BOOK
AU  - Денисов, А. А.
AU  - Кальнов, В. А.
AU  - Шахнов, В. А.
TI  - Проектирование оптической элементной базы наносистем
T2  - Библиотека "Наноинженерия"
VL  - кн. 7
SN  - 978-5-7038-3509-8
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - Изд-во МГТУ
KW  - Микроэлектромеханические приборы оптические
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Проектирование
KW  - RU\NLR\auth\661562569
KW  - Нанооптоэлектроника
KW  - Физические основы
KW  - RU\NLR\auth\661488333
KW  - З844.1-02я73-1
KW  - З854.3-01я73-1
N2  - Библиогр.: с. 136-137 (27 назв.)
ER  -