TY - BOOK AU - Андрианова, Н. Н. AU - Борисов, А. М. AU - Быцкевич, В. М. AU - Суминов, И. В. TI - Учебно-методические материалы по направлению "Нанотехнологии и микросистемная техника" SN - 978-5-91918-128-6 PY - 2011/// CY - Москва, Санкт-Петербург PB - МАТИ KW - Нанотехнологии KW - Учебные издания для высших учебных заведений KW - RU\NLR\auth\66830353 KW - Микросистемная техника KW - RU\NLR\auth\661410277 KW - З844.1я73-1 KW - Ж6я73-1 N2 - Библиогр. в тексте ER -