TY  - BOOK
AU  - Ижмякова, Л.Ф.
AU  - Щеглова, В.В.
TI  - Металлические пленки в производстве полупроводниковых приборов
T2  - ..
VL  - Вып.1371975, Вып.3
PY  - 1975///
CY  - Б. м.
ER  -