TY  - BOOK
AU  - Пинес, Г.Э.
AU  - Рокицкая, Я.П.
TI  - Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии
T2  - ..
VL  - Вып.1342[1]
PY  - 1970///
CY  - Б. м.
ER  -